厂商 :佛山市佛欣真空技术有限公司
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在二极溅射中增加一个平行于靶表面的封闭磁场,借助于靶表面上形成的正交电磁场,把二次电子束缚在靶表面特定区域来增强电离效率,汽车轮毂真空镀膜机图片,增加离子密度和能量,汽车轮毂真空镀膜机研发,从而实现高速率溅射的过程。
磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点:利用磁场与电场交互作用,使电子在靶表面附近成螺旋状运行,海南汽车轮毂真空镀膜机,从而增大电子撞击氩气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。
工件架的转速应当选择得当,旋转速度太快时,蒸发效果不好,转速太慢,工件架尚未旋转一周,蒸发材料就蒸发完毕,不能保证膜的均匀性。因此一般要根据每次蒸镀时所需的最短时间、旋转工件架的线速度及其运动过程的稳定性等方面进行综合考虑来确定工件架的最大转速。一般转速不应大于40r/min。通常超高真空蒸发镀膜机上的球面行星转动工件架的转速范围可选择为园 耀 猿远 则 辕 皂蚤灶,而且其转速应该是可调的。