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旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,真空泵,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时,靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
由泵的连续运转,达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级),由低真空级抽走,旋片式真空泵,再经低真空级压缩后排至大气中,真空泵机组,即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担,因而提高了极限真空度。
真空泵的类型
气体输送泵是一种能使气体不断吸入和排出泵外以达到抽气目的的真空泵。它含有变容式和动量传输式两大类。
变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气、压缩和排气的装置 。
动量传输式真空泵是利用高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给被抽气体,使之吸入、压缩、排气的一种真空泵。
气体捕集泵是一种将气体吸附或凝结在泵内表面上的真空泵。