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风管制作
加工制作洁净系统的风管应在相对密封的室内进行。室内的墙壁宜光滑、不产尘、不积尘,地面可铺设加厚塑料地板,地板与墙体结合处宜用胶带封贴,避免灰尘产生。风管加工前,室内必须做到干净,无尘、无污染。制作用的工具、设备必须保持干净,无灰尘。参加制作的人员宜相对固定,人员进入制作场所应配戴一次性无尘帽、手套、口罩,工作服应常换洗。制作用材料应经过二到三次酒精或无腐蚀清洁剂擦洗后,才能进入制作场所待用。
如表所示,洁净室标准,每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,齐齐哈尔洁净室,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。