（员）放电及等离子体不稳定及不均匀的影响。溅射镀膜放电空间的

等离子体放电不稳定及密度分布不均匀，导致靶材的不均匀溅射和不均

匀沉积。

（圆）靶内磁极的位置对膜厚分布的影响。靶内磁极的位置决定了靶

磁场的分布，从而影响靶的溅射刻蚀区域及形貌，进而影响膜厚分布的

均匀性。

（猿）镀膜室抽气方式的影响。镀膜真空室的抽气管口位置处的气体

流速较快，不锈钢板材镀膜机报价，压力较低，抽走的气体必然靠附近区域的气流来补充，这就

造成沿抽气口附近和沿室壁方向的气流加速，茂名不锈钢板材镀膜机，使得抽气口附近的气体粒

子碰撞加剧，并且造成工作或反应气体布气不均匀和不稳定，从而使靠

近抽气口方位的基片镀层厚度有减小的趋势。基片离抽气管口越远，对

膜层沉积的异常影响越小。

灯丝寿命与其工作温度关系极大，如表员员鄄源 所示，因此，在满足工

作要求的条件下，不锈钢板材镀膜机定制，应当尽力降低灯丝的工作温度，以增加灯丝的使用寿

命。由于灯丝直径测量困难，故又规定灯丝的发射电流密度躁园 下降到初

始值的苑园豫时即为寿命终结。

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