厂商 :佛山市佛欣真空技术有限公司
地址 :广东 佛山主营产品 :真空镀膜设备 真空镀膜电源
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(员)放电及等离子体不稳定及不均匀的影响。溅射镀膜放电空间的
等离子体放电不稳定及密度分布不均匀,导致靶材的不均匀溅射和不均
匀沉积。
(圆)靶内磁极的位置对膜厚分布的影响。靶内磁极的位置决定了靶
磁场的分布,从而影响靶的溅射刻蚀区域及形貌,进而影响膜厚分布的
均匀性。
(猿)镀膜室抽气方式的影响。镀膜真空室的抽气管口位置处的气体
流速较快,不锈钢板材镀膜机报价,压力较低,抽走的气体必然靠附近区域的气流来补充,这就
造成沿抽气口附近和沿室壁方向的气流加速,茂名不锈钢板材镀膜机,使得抽气口附近的气体粒
子碰撞加剧,并且造成工作或反应气体布气不均匀和不稳定,从而使靠
近抽气口方位的基片镀层厚度有减小的趋势。基片离抽气管口越远,对
膜层沉积的异常影响越小。
灯丝寿命与其工作温度关系极大,如表员员鄄源 所示,因此,在满足工
作要求的条件下,不锈钢板材镀膜机定制,应当尽力降低灯丝的工作温度,以增加灯丝的使用寿
命。由于灯丝直径测量困难,故又规定灯丝的发射电流密度躁园 下降到初
始值的苑园豫时即为寿命终结。