靶的刻蚀速率及其深度正比于等离子体的浓度，也即正比于从靶面

发射的二次电子与中性原子的离化碰撞频率 灶藻σ（增藻）增藻，其中 灶藻 是电子

浓度，它正比于电子的耘 伊 月漂移速度，σ（增藻）是工作气体原子的电离截

面，不锈钢表面镀膜机厂，增藻 为电子速度。研究发现，电子的平均动能基本保持恒定（即 增藻 基

本不变）。因此当靶面各处电子产生和消亡的速率平衡时，根据电子沿

跑道流动的连续性，灶藻 与电子的 耘 伊 月 漂移速度成反比。电子的 耘 伊 月

漂移速度越小，靶面的刻蚀速率越大。

靶基距对基片上在靶宽度方向（载 方向）上的膜厚均匀性有很大影

响。图员猿鄄缘 给出了图员猿鄄源 所示的矩形靶结构在不同靶基距情况下，不锈钢表面镀膜机设备，沿

载方向（即靶的宽度方向）膜厚的相对分布。从图中可以看出，当靶基距

较小，如 澡 越圆缘 皂皂 时，不锈钢表面镀膜机，薄膜厚的位置大约在跑道上方，均匀性很差。

随着靶基距的增加，由于积分的效应，基片上不同点的膜厚差值变小，

均匀性逐渐变好。

不锈钢表面镀膜机设备_不锈钢表面镀膜机_佛欣真空由佛山市佛欣真空技术有限公司提供。佛山市佛欣真空技术有限公司（www.foxinzk.cn）优质的服务和产品，不断地受到新老用户及业内人士的肯定和信任。我们公司是全网商盟认证会员，点击页面的商盟客服图标，可以直接与我们客服人员对话，愿我们今后的合作愉快！