（４）每种薄膜都可以通过微调阀精111确的控制镀膜室中残余气体

成分和含量，多弧磁控离子镀膜技术，从而防止蒸镀的材料氧化，可以把氧的含量降低到最

的程度，多弧磁控离子镀膜工具，还可以充入惰性气体等，这一点湿式镀膜是无法做到的。

（５）由于镀膜设备的不断改进，镀膜过程可以实现连续化从

可以大大地提高产品的产量，而且在生产过程中没有对环境的

染。

（６）由于在真空条件下制膜，多弧磁控离子镀膜方法，所以膜的纯度高，密实性好，表

光亮不需要再加工，禹城多弧磁控离子镀膜，这就使得膜层的力学性能和化学性能比电

膜和化学膜好。

真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要领域，它是以真空

技术为基础，利用物理或化学的方法并且吸收了电子束、分子束、

离子束、等离子束、射频、磁控等一系列新的技术，为科学研究与生

产提供了膜层涂覆的新工艺、新技术。简单地说，在真空中把金

属、合金或化合物进行蒸发（或溅射），使其在被涂覆的物体（称基

板、基片或基体）上凝固、沉积的方法就称为真空镀膜。

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