当对真空室进行抽空时，真空室必须干净，里其乐真空泵VTA100叶片，以尽快达到所需 压力。真空系统典型的污染物包括生产真空系统产生的残渣 表面、螺丝钉和密封件上的油脂与应用相关的污染物 过程反应产物、灰尘和颗粒环境相关的污染物 冷凝蒸汽，里其乐真空泵KTA140叶片，特别是吸附在容器壁上的水分。因此，里其乐真空泵VLT40叶片，在安装真空设备时有必要确保部件尽可能干净。真空 室中安装的所有部件必须干净、无油脂。安装的所有密封件 必须干燥。如果无法避免使用真空润滑脂，且根本是辅助安 装而不是作为密封胶，必须非常谨慎地使用。如果将要产生 高真空或超高真空，在装配过程中必须佩带干净、不掉毛、 无粉手套。

Gardner Denver里其乐(Rietschle)真空泵    VC系列

油扩散泵是获得超高真空的重要泵种，嘉兴里其乐，但必须很好的解决污染问题，否则无法获得超高真空。

扩散泵系统的污染主要来自扩散泵油的返流，机械泵油的返流以及扩散泵油加热分解的永久性气体，如

氢、甲烷、乙烷等的返流。扩散泵油的返流原因、影响及防止，分解产生的永久性气体用液炭冷阱是无

益的，应使用钛升华阱，使用钛升华阱可得到10-9Pa的真空度。

减少机械泵油的返流有三种方法：

1，在粗抽管道中加液炭冷阱，是一种最有效的方法；

2，粗抽管道上安装充气阀，冲入干燥碳气，使真空式保持到15~30Pa；

3，不用粗抽管道，通过扩散泵进行粗抽。

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