冷等离子体装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，等离子清洗机销售 ，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这时会发出辉光，台湾等离子清洗机，故称为辉光放电处理?辉光放电时的气压大小对材料处理效果有很大影响，另外与放电功率，气体成分及流动速度?材料类型等因素有关?

    不同的放电方式?工作物质状态及上述影响等离子体产生的因素，相互组合可形成各种低温等离子体处理设备?

        等离子体化学气相沉积技术最有影响的应用之一是利用该技术制备金刚石膜。由于膜状的金刚石可以在超硬保护涂层、光学窗口、热沉材料、微电子等多个领域有重要意义，因此科学家认为当人类完全掌握金刚石膜的制备技术，特别是单晶金刚石膜的制备技术后，依赖材料的历史将从硅材料时代很快进入金刚石时代。不过目前关于等离子体化学气相沉积金刚石膜的机理并没有完全清楚，特别是异质外延单晶金刚石膜还有很大困难.这些活性粒子能量一般为几个至几十电子伏，大于一般聚合物材料的表面的黏结性，吸湿性，可染色性，生物相容性等性能.

       与其他的表面改性方法相比，等离子清洗，其主要原因是：低温等离子体处于热的非平衡状态，所用的反应气体也是多原子分子，反应系统复杂，基础数据不足。但是通过20多年大量的理论和实验研究，人们不仅发展了多种等离子体化学气相沉积技术来制备金刚石膜，而且通过对实验数据的分析总结，对影响金刚石膜的生长的因素有了一定的了解。对多晶金刚石膜的生长来说，形核是关键的，而影响形核的因素又是多方面的，包括等离子体条件，基体材料和温度等因素。

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