低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，等离子环保设备生产，当外加电压达到气体的 放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。

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     从各种工业生产及其有关过程中排放的含有污染物质的气体，统称为工业有机废气。其中包 括直接从生产装置中物料经物理、化学变化和生物化学过程排放的气体，也包括间接的与生 产过程有关的燃烧过程、物料储运和装卸等作业散发的含有污染物质的气体。

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