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水汽捕集泵
水汽捕集泵厂家
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厂商 :北京市天地精仪科有限公司
地址 :北京 北京
主营产品 :
联系电话 :13261058390
商品详情描述
-135
℃水汽捕集泵
-135
℃
Water vapor cryopump
应用原理
:
在使用
油扩散泵的高真空环境中
都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。
深冷泵
则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵
的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或
油扩散泵
的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速
捕集真空
系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10
-8
Torr、10
-5
Pa)。
在实际应用当中,根据所放的位置不同可以分为两类(见图):
1
、水汽捕集器
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。
2
、低温冷阱
放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。
根据需要
,
二者可以分别安装也可以同时安装
.
技术参数表
本公司研发生产的-145℃深冷
水汽捕集泵
,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。
3、控制面板:
4、主要的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;
2、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,最低可到-150℃;
3、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温;
4、一台设备可设计两路负载输出;
5、进口压缩机,环保混合型制冷剂;
6、完善的自动化控制;
7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示;
8、当待机温度到达后有指示灯提示,可以开始制冷;
9、除霜温度自由设定;
10、具有水温温度、排气温度显示;
11、缺水、水温过高报警;
12、压缩机排气过高、压力过高保护;
13、电源断电、缺相报警;
14、可本地、远程控制自由转换;
15、R232计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。
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