厂商 :东莞市汇成真空科技有限公司
地址 :广东 东莞主营产品 :
联系电话 :13884451833
型号 真空室尺寸 |
JLZ-1000 |
JTZ-1200 |
JTZ-1400 |
JTZ1400 |
¢1000×1000MM |
¢1200×1400MM |
¢1400×1600MM |
¢1400×1900MM | |
制膜种类 |
金属膜、半透明膜、不导电膜、电磁屏蔽膜、介质膜等 | |||
电源类型 |
电阻蒸发电源、直流磁控电源、射频电源 | |||
溅射及电极结构 |
圆柱磁控靶、平面矩形靶、孪生靶、蒸发电极 | |||
真空室结构 |
立式双开门、立式单开门、后置抽气系统/卧式单开门、侧置抽气系统 | |||
极限真空 |
4.0×10-4PA | |||
真空系统组成 |
扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵 | |||
抽气时间 |
从大气抽至8.5×10-3PA,小于或等于15分钟 | |||
工件运动方式 |
公自转/变频调速 | |||
控制方式 |
手动/自动一体化式,触摸屏+PLC | |||
备注 |
以上设备可按客户实际及特殊工艺要求设计订做 |