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对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个国家和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。

　风速的控制：

　　风管和设备内的风速

　　位置推荐值(m/s)大值(m/s)

　　住宅公共建筑工厂住宅公共建筑工厂

　　风机吸入口3.5 4.0 5.0 4.5 5.0 7.0

　　风机出口5~8 6.5~10 8~12 8.5 7.5~11 8.5~14

　　干管3.5~4.5 5~6.5 6~9 4~6 5.5~8 6.5~11

　　支管3 3~4.5 4~5 3.5~5 4~6.5 5~9

　　从支管上接出的风管2.5 3~3.5 4 3.25~4 4~6 5~8

净化厂房的排风系统：

　　洁净室的排风系统设计，应采取下列措施：

　　1、室内气流倒灌。为防止室外气流倒灌，qs食品包装净化车间，防止在洁净室的净化空调系统停止运行时，gmp净化车间安装，室外空气倒灌流入室内，gmp净化车间，引起污染和沉积。工程中常用的防倒灌措施是：

　　①采用设置中效过滤器，这种方式结构简单、维护方便；

　　②采用止回阀，使用方便，但密闭性较差；

　　③采用密闭阀，密闭性好，但结构复杂，管理不便；

　　④采用自控装置。

　　2、含有易燃、易爆局部排风系统的防火防爆。

　　3 、排风介质中有害物浓度及排放量超过国家或地区有害物排放浓度及排放量规定时，应进行无害化处理。

　　4、对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统，应设坡度及排放口。

　　因此洁净厂房内的换鞋、存外衣、盥洗、厕所和淋浴等生产辅助房间，丹东净化车间，应采取通风措施，其室内的静压值，应低于洁净区。

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