干式真空泵

深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳，在北京、浙江设有售后办事处。是一家专门从事各种真空应用设备制造，集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品：真空设备，耐腐蚀真空泵，检漏仪，微水仪，lng抽真空系统，非标真空设备，真空标准件以及真空设备的维护保养。

真空泵不锈钢真空泵

干式真空泵主要有下列几种形式:

双圆裂片式

双圆裂片式设计和目前最liu行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些最早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂，并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，不锈钢真空泵，为了达到好的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，真空泵，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。

三叶圆裂片式

三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力-下降。同双圆裂片式设计一样，三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。

组合式(罗茨+爪)

组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率，用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其最后一级改为星型设计，这样可以在旋转一圈中将气体分为五份，就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样，在很多工艺中，组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。

外部压缩型螺杆式

在外部压缩型螺杆式设计中，使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到最xiao，11kw水环真空泵，同时使得气体通路最短也最简单。这样，气体在泵体内停留的时间也最短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高，但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单，这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。

内部压缩型螺杆式

除了使用一对非等距螺杆以外，内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中，这种内部压缩同多级泵一样，极易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。

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真空泵

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真空泵不锈钢真空泵

液环泵虽然液环泵属于粗真空泵，但在中国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。在国外，液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%，仅次于干泵，由于液环泵大部分是铸件，加工要求也不高，属劳动密集型产品，所以国产液环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提高xiao率，降低能耗。

滑阀泵由于滑阀泵比较耐用、可靠，国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，杜绝喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。

直联旋片泵随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。

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