等离子清洗机的应用用途：

表面的微结构化，例如，在线式宽幅等离子清洗机，用于提高粘合力（“微喷砂”）

蒸镀源的喷射（“溅射”）

因为离子蚀刻不发生化学作用，晟鼎等离子清洗机，其几乎适用于所有基材（几乎没有选择性）。等离子体的蚀刻作用基本都是有离子加速度方向所决定的。其效果是强烈的各向异性。

化学等离子蚀刻

所用的工艺气体，等离子，其分子在等离子体中主要分裂为自由基。蚀刻作用主要基于这些自由基与基材的原子或分子之间的反应，以及其转化得到的气相分解产物。

一些特殊的应用用途：

氧化层的降解

去除光刻胶（“剥离”）

矩阵灰化，用于分析

蚀刻 PTFE

半导体的结构化和微结构化

玻璃和陶瓷的等离子清洗：

     清洗玻璃和陶瓷 的方法和清洗金属是一样的。作为清洗玻璃的 工艺气体 ，通常使用压缩空气。一般而言，等离子表面处理机的原理 ，大多用 压缩空气 进行清洗 。作为重要参数，此处必须对距离、速度以及反复处理（需要进行多次进行处理）加以考虑。

等离子射流/活性气体射流是无电位型的吗？

    是的，等离子清洗机的活性气体射流不具有任何 或者仅具有极少的电位。故此，等离子清洗机通常用于对电气部件进行清洗。也可用于处理非导电性的材料。

进行等离子清洗的时候会产生哪些废气？

   会产生 氮氧化物 NO 和 NO2。当然还可能产生少量的含碳废气 (CO2， CO)。

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