真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]

机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。

1.1真空箱单元

真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

真空箱：采用不锈钢材质制造，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，保证了良好的本底和极少的藏气，提高了真空箱的抽空效率。真空箱内设两个工件接头。真空箱采用快速接头与工件的接口间柔性软管连接，方便快捷，箱式氦检漏回收设备，大大提高了操作效率。

真空箱开门机构：采用自动侧开门方式。

真空泵组：真空泵组是系统检漏需具备的必要条件，是真空获得的重要工具。本系统真空机组前级泵采用单级旋片式泵组，主抽罗茨泵采用罗茨泵，性能稳定可靠，在高真空下抽速更快，检漏系统配制采用机械泵为前级泵。

真空测量装置：采用进口真空计，使测量更加准确。

管道阀门：真空管道均采用不锈钢材料制成，为获得较好的真空提供了必要的物质基础。执行机构：真空箱开关门采用直线导轨滑动系统，手动送工件和自动或（手动）开关门可靠、安全。

1.2 充氦气回收单元

充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。

充氦气回收部分主的组成结构中，高、低压罐由具有专业资质的压力容器生产商制造，氦检漏，并配备安全阀、压力传感器，适时检测高低压罐压力，安全可靠。系统具有氦气压力监测及氦气补充功能，当系统检测到高压氦气罐内的氦气浓度或压力低于设定值时，则自动打开阀门从低压罐补充高纯氦气。

压缩机采用知名品牌，质量安全可靠。

氦浓度仪采用知名品牌，能根据需要检测高压罐内氦气浓度。真空计，真空阀门等关键部件均采用优质配置，详见配置清单。

1.3 检漏单元

真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，氦质谱检漏仪采用进口产品，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接更加协调紧密。

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充气开关柜检漏设备  

北京科仪创新真空技术有限公司（简称：科仪创新）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。是国内新兴的一家专业从事真空领域的高新技术企业。公司始终坚持以人为本，追求卓越，造就了团结，合作，创新的学习型团队，构建了高起点、高标准的技术平台，成为集真空设备研发、生产、销售、服务为一体的现代化科技型企业。科仪创新产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等高新技术产品。科仪创新-以创新为理念。使产品与技术达到国内先进水平，形成了具有自主知识产权的较完整的真空产品产业链。产品和技术广泛应用于新能源、新材料、电子、电力、航空航天、半导体、超导、离子、IC装备、科研、节能环保等领域。科仪创新-以技术为保障。公司汇聚了国内真空行业的专家、专业技术人员和专业的管理团队，他们熟悉真空、机械、高温、低温、镀膜、材料、检漏和自动化控制等专业，也深知现代高新技术企业的内涵，为客户提供完善的技术保障。

由于工件内外压差不能大于0.04Mpa，抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压，如果压力差超过设定值，则抽速较快的泵自动停止，等压力差达到规定要求时，泵自动运行，直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能，显示各种故障信息。

真空箱检漏工艺流程如下：①工件密封盖板安装（需方人员自行完成）→②吊运至设备小车（同上）→③工件与设备连接（同上）→④按下控制按钮（同上）→⑤设备关门自动运行（真空箱、工件抽空）→b.工件真空压强法判大漏→c.抽空工件充氦气检微漏→d.回收工件内氦气→e.真空箱、工件充气）→⑥检漏完成真空箱开门→⑦吊走工件拆卸盖板

注：①-④-⑦由需方人员自行完成。

【真空箱氦检漏设备】技术参数

1、 真空箱尺寸：长2500mm×1500mm×1000 mm（有效长度）

充氦气压力：0.05Mpa（可调）

2、 工作节拍：＜40分钟/件

3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。

4、 氦气回收率：95%-98%

5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S

(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)

6、 保压检测时间：（1-600S可调）

7、 工件真空≤1000Pa

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真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】

真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，其中电控系统包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。

2.4、执行机构

电气控制系统中的执行机构是完成某种功能的最终器件，主要有用于抽真空的各个真空泵、控制各个管路的阀门。科仪创新 - 以技术为保障，公司汇聚了国内真空行业的专家、专业技术人员和专业的管理团队，他们熟悉真空、机械、高温、低温、镀膜、材料、检漏和自动化控制等专业，也深知现代化高新技术企业的内涵，为客户提供完善的技术保障。专业定制真空标准件KF/CF/ISO/全系列各种标准规格及非标系列。

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