它采用CMOS工艺，工作电压为+5 V，测量灵敏度为，全自动缺陷检测机，集成的补偿电容等参数均可以通过寄存器控制。其基本测量原理为：对被测电容与参考电容同时以相反时序充放电，通过电流积分、低通滤波、放大等将被测电容与参考电容差值转换为电压输出。MS3110内含一个60位的寄存器和100位的EEPROM。可通过单片机MSP430F149的I／0口对其EEFROM编程，或使MS3110工作在测试状态直接对寄存器进行编程。通过这些设置可对MS3110内部各个模块的参数进行确的调节。

MS3110原理框图如图2所示。MS3110主要由电容补偿电路、电荷积分电路、低通滤波器以及运算放大器组成。

　3、动态响应好

　　电容式传感器由于极板间的静电引力很小，半导体元件全自动缺陷检测机，需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，芯片全自动缺陷检测机，能在几兆赫的颇率下工作，特别适合动态测量。又由于其介质损耗小，电感电容全自动缺陷检测机，可以用较高频率供电，因此系统工作频率高，可用于测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等。

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