日本THK导轨滑块直线导轨副的精度分为浅显级、初级、高精度级、超高精度级和超高精度级五种。 首要检测目标普通有三个，一是滑块C面对直线导轨A面的平行度，二是滑块D面对直线导轨B面的平行度，三是行走平行度，所谓行走平行度是指将直线导轨支持在基准座平面上，使滑块沿路程行走时，THK导轨滑块直线导轨与滑块基准面之间的平行度偏差。

THK导轨滑块直线度偏差的测量基准能够随便选择，而评定基准应符合醉小前提的原则。这就是说，测量直线导轨精度时，必须用两条平行的理想直线包涵住被测直线导轨的实际轮廓，并使此理想直线间的距高为醉小。则这两条被称为直线导轨包涵线的理想直线间的间隔，就是被测直线导轨的直线度偏差。

　　不管评定基准如何转换计量方向始终稳定的原则。这个原则是测量读数所反应的计量方向始终应垂直于测量基准，采取两包涵线之间的坐标间隔计量，不该因评定基准产生转换，形成评定基准之间产生藐小倾斜而窜改方向。

　　对THK导轨滑块只做等节距的多少档后，用水平仪大概其他高精度测角仪器借助专用桥板，使其支持点首尾相接，沿测量方向挪动，分别测量出各档相对水平仪上，所选定的零位（测量基准，为水平线）的倾斜角。