镀膜室区域用大抽速的油扩散泵作为主泵，罗茨泵及机械泵组成前级抽气组，高真空油扩散泵直接挂在
真空室的下方，卷绕室区域用大抽速的罗茨泵作为主泵，小罗茨泵及机械泵组成前级抽气组．在镀膜区域都装有一套紫铜盘管，镀膜时由称为Ｐｏｌｙｃｏｌｄ的低温机组冷却至－１２０℃以下，寻找求购镀膜机，可以防止油气返流，有效防止扩散泵中油气返流真空室及蒸镀元件，可以在瞬间吸附水蒸汽。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司

普通的磁控靶的刻蚀面为一条很窄的跑道，所以靶材的利用率非常低。如果能够让磁场依次周期性地分布在靶的整个表面上，则可使整个靶面都能被刻蚀，餐具刀叉镀膜，其结构原理如图员圆鄄员愿 所示。
在靶的磁体组合结构上加上运动部件，将整个磁体都置于水冷却中，双向电机带动磁体沿着靶背面水平往复运动，真空镀膜机镀什么颜色，使其产生的平行磁场也在靶面来回运动，从而使靶的刻蚀变为一个动态过程。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司

１１２２　真空溅射镀膜

在真空室中，利用荷能粒子轰击材料表面，使其原子获得足够

能量而溅出进入气相，然后在工件表面沉积的过程称为溅射镀

。溅射镀膜的基本原理是，以镀膜材料为阴极，以工件（基板）为

极，在真空条件下，利用辉光放电，镀膜机，使通入的氩气电离。氩离子

击靶材，产生阴极溅射效应，靶材原子脱离靶表面后飞溅到基板

形成膜层。为提高氩气碰撞、电离几率，从而提高溅射速率，多

强化放电过程的技术方法被开发和应用，主要包括三极、四极溅

、磁控溅射、对向靶溅射、离子束溅射、射频溅射、反应溅射等。

些内容在相关的书籍中（《表面沉积技术》，王福贞、闻立时，编

）均有较为详细的阐述，这里就不再赘言。

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