湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。

根据大量验收测定发现，低照度值达到200lx以上就比较困难，实际上150lx已相当亮了，因为平均照度要高于它很多.工作区内用平均照度意义不大，因为有若干点在150lx以下，洁净室工程公司，就不适合工作。对于特别要求高照度操盘点可以采用局部照明，而不宜普遍提高整个车间的低照度标准。除可利用局部照明外，必要时也可利用自然光，当平面上有外廊时就可以做到这一点。

洁净实验室作为科学研究、产量优化、安全保障和质量控制的重要组成部分，在实验室设计领域和制造过程中越来越重要。设计和建设洁净实验室，工业洁净室，应充分考虑其潜在危险性，并以此作为洁净实验室设计建设时考虑的重要因素。根据《洁净厂房设计规范》规章规定，对工作认为比较合适的低照度作了统计，安庆洁净室，其结果略高于150lx。因此，将一般照明的下限值定为150lx是合适的，虽然在300lx时有更高的工作效率。

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