超纯水技术在半导体行业的应用

预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合Ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体，使SD≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低LSI ，避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中，传统预处理方式是“多介质过滤器+活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器+超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分，主要原因如下:(I)传统的预处理过程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水SDI值比较稳定(}1)，能够有效地保证一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大，而“粗过滤器+超滤装置”占地而积小，工业纯水设备，节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比，超滤装置的更换比较方便。(4)近年来，由于超滤技术的不断成熟，系统能够稳定安全地运行，纯水设备，而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低，在一次性投资和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。

一、超纯水设备中为什么会有气泡

超纯水设备制取超纯水用的源水，无论是以自来水为源水，还是地下水为源水，水设备，或者以纯水为源水。源水中总会溶有气体。这些气体可以大致分为：可反应性气体，不反应性气体，消毒副产物。这些气体大多通过自然溶入和人工加入的方法溶于水中，显然，起纯水中是不能含有这些气体的，特别是可反应性气体和消毒副产物。

反渗透膜介绍

反渗透膜是为了实现水溶液的反渗透现象，采用特殊工艺人工合成的一种半透膜。反渗透膜的孔径为0.0001微米(μm)，只有水分子才能通过，而其溶质不能通过反渗透膜。在纯水机的净水系统中，反渗透膜专指成形的反渗透膜滤芯。反渗透膜滤芯是纯水机净水系统的核心部件，只有使用了反渗透膜，才能称为纯水机。RO膜可以去除水中的重金属、化学物质、颗粒物、细菌病毒、放l射性物质等对人体有害的物质。

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