箱式真空镀膜机

采用箱式结构，真空系统后置，便于操作和维修；整机表面平整，方便清洁，特别适合放置在净化间内做穿墙式安装。

设备真空系统抽速大，具有抽气时间短，真空度高，生产周期短等优点。

采用管状加热器上烘烤，烘烤温度均匀，寿命长，可达到烘烤温度350℃，烘烤均匀性270℃±10℃。

工件转动采用上部中心驱动，轴承带水冷，磁流体密封，转动平稳可靠。

采用石英晶体膜厚控制仪，可实现镀膜过程的自动控制。

采用先进的镀膜控制系统，人机操作界面美观实用，系统稳定可靠，可实现系统的手动、半自动和全自动操作。

适用范围:用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜

为什么真空镀膜设备镀玻璃会掉膜？真空蒸发镀膜设备的零部件的表面清洗处理是很有必要的，因为要是受到外界环境的影响会使真空系统无法正常使用达不到高真空度。而且存在杂质的情况下，真空部件的链接和密闭性都有受到影响。污染物杂质对真空完全是一种无用的物质，多弧离子镀膜机会根据杂质的状态将其分为固态杂质、气态杂质以及液体杂质，它们微粒的形式存在。从化学的角度看，既可以是离子的也可以是共价的，既是有机的也可以是无机的。显露的外面的表层容易被污染到，被污染的情况有很多种，一开始一般是由本身运转形成的。要注意表层吸附、化学作用、清洁和晾干等过程、机械在各种运作过程中都有可能产生污渍使表面污染物增加。

真空磁控溅射镀膜机如何保养,及后期发展前景

首先，真空镀膜设备使用一段时间后，必须要对设备进行清洁维护；规范操作人员及操作要求，包括穿戴专业的服装、手套、脚套等；严格处理衬底材料，做到清洁干净，合乎工艺要求；源材料符合必

要的纯度要求；保证设施设备及操作环境清洁。如材料、样品放置地环境要求，环境温度湿度要求等；降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。

真空镀膜技术在电子方面开始是用来制造电阻和电容元件，之后随着半导体技术在电机学领域中的应用，又使这一技术成为晶体管制造和集成电路生产的必要工艺手段。近年来，随着集成电路向大规模和超大规模集成方向发展，从而又对真空镀膜技术提出了新的要求。因而在电机学领域中又产生了一个新的分支—薄膜微电子学。