1、真空吸污

用类似有手握式的真空吸污管来操作。用刷子直接接触管道内壁以清除污物。这种方法需要风管有较大的检修孔使操作的人员能够尽可能够得到但这种方法可能漏掉一局部尘土和污物，因为风管不能形成完全的负压条件。

2、动力洗刷

用气动或者电动的毛刷将脏污刷动，然后污物用和气体冲洗相同的方法和方向被吸到真空收集器中。这种方法要求尽可能的小心不至于破坏保温资料的外表。

因此将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而不需处理。酸碱性排气：其主要来源于化学清洗工作站，风管，清洗晶片时所产生之挥发性气体，此气体部分含有浓烟，部分则对呼吸系统有刺激性作用有害人体，故必须经过水洗中和处理，再由风机排入大气。

排气：其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用清洗过程时所产生，需经有机废气处理设备处理后，再由风机排入大气。

下料时应根据管子长短合理排料，减少浪费。对数量少，管径大，管壁厚及其它的材质管道，应先整体排料再下料，严格控制管子的用量，对100mm以上的切割余量不能作为废料处理，风管安装，应按材质登记保管以便备用。切割后的不锈钢风管标识若被破坏，应在剩余管材上原有标识。

不锈钢风管须用机械或等离子切割，其余管材可用火焰切割下料和制备坡口，切口表面应平整，邓县风管，无裂纹、重皮、毛刺凹凸、缩口，熔渣、氧化物、铁屑等应及时去掉。切口端面的倾斜偏差不大于管外径的1%，且不大于2mm。

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