兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解干法蚀刻电浆形成之原理：

电浆的产生可藉由直流(DC)偏压或交流射频(RF)偏压下的电场形成，如图5-3所示，而在电浆中的电子来源通常有二：一为分子或原子解离后所产生的电子，另一则为离子撞击电极所产生的二次电子(SecondaryElectron)，在直流(DC)电场下产生的电浆其电子源主要以二次电子为主，而交流射频(RF)电场下产生的电浆其电子源则以分子或原子解离后所产生的电子为主。

在电浆干法蚀刻中以直流方式产生辉光放电的缺点包含了：1)需要较高的功率消耗，也就是说产生的离子密度低；2)须要以离子撞击电极以产生二次电子，如此将会造成电极材料的损耗；3)所需之电极材料必须为导体。如此一来将不适用于晶圆制程中。

在射频放电(RFDischarge)状况下，由于高频操作，使得大部份的电子在半个周期内没有足够的时间移动至正电极，因此这些电子将会在电极间作振荡，并与气体分子产生碰撞。而射频放电所需的振荡频率下限将视电极间的间距、压力、射频电场振幅的大小及气体分子的解离位能等因素而定，而通常振荡频率下限为50kHz。一般的射频系统所采用的操作频率大都为13.56MHz。

金属蚀刻网片的熔炼过程：

1）一：这个阶段主要是起弧。电炉通电后，电极发射热电子，从阴极发出大量电子，高速电子可使中性的空气分子离解成离子，从而空气具有导电能力，产生电弧，释放出大量的光和热。

2）二：这个阶段主要是电极穿井和极下炉料的熔化。通电起弧后，电极下的炉料受热熔化。随着熔化的进行，经过15-25分钟的时间，电极降到低位置。在此阶段，电弧始终被炉料包围，电弧所放出的热量绝大部分用于加热和熔化炉料，对炉盖的热辐射很少，应该向炉内输送大功率。

3）三：这一阶段主要是电极四周炉料的熔化和电极的回升。随着熔化的进行，液面不断上升，电极也就相应地上升。在回升过程中，周围的炉料逐渐熔化，当炉内只有炉坡和炉底还剩部分未熔炉料，即全部炉料熔化80%左右，这一阶段结束。在这个阶段，电弧在大部分时间中仍被冷料包围，应仍向炉内输送大功率。

4）四：这个阶段主要是低温炉区炉料的熔化。电弧是点热源，炉膛内的温度分布不均匀，炉门附近，出钢口两侧等处的炉料熔化较慢。应及时将这些地方的冷料推入熔池。在此阶段液面仍缓慢上升，钢水温度已经升高，电弧开始暴露在液面上，辐射加强，应该适当降低输入功率和电压。

第二和第三阶段是熔化过程的主要阶段，占全部时间的70-80%，是决定熔化期时间长短的主要因素。

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