80单晶炉/85单晶炉/90单晶炉/95单晶炉/滑阀真空泵
适用范围：
   滑阀式真空泵适用于抽吸空气及一般气体，当使用气镇时，亦能抽除含有少量的可凝性气体（如水蒸汽），广泛应用于镀膜、单晶硅、单晶炉、单晶硅棒、冶金、电工、电子、化工、陶瓷、航空、实验室等多种场合的真空镀膜、真空干燥、真空脱气、真空钎焊、真空热处理、真空浓缩、真空反应等真空作业。可单独使用，也可作为罗茨泵、扩散泵、油增压泵等其他高真空泵的前级泵使用。
本公司滑阀泵有以下特点：
 （1）、经过优化设计配重，振动小，噪音低。
 （2）、轴承密封室单独供油，与泵腔隔开，避免了杂质进入轴承、密封过早损坏的问题。
 （3）、根据用户要求，可附带副油箱，达到冷却真空油，分离杂质的作用。

本泵型为滑阀式机械真空泵,是抽取一般性气体或含有少量可凝性蒸汽的气体(应使用气镇装置)的真空抽气设备之一。适用于真空冶炼、真空干燥、真空镀膜、真空浸渍以及其它作业。它可单独使用，也可作为其它真空泵的前级泵使用，但不适用于自一容器抽至另一容器作输送泵使用。当抽恰逢含氧过高的、有爆炸性的、对黑色金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的、有水的、有尘埃的气体时，应加附设装置。
泵型号意义：

2：标示双级压缩
H：表示滑阀真空泵
150：表示几何抽速为150升/秒

技术参数：

型号	极限压力		几何抽速 L/S	进气口径 mm	排气口径 mm	配用功率 kw	冷却水耗量 kg/h	重量 kg
	Pa	Torr
2H-150	6*10-2	4.5*10-4	150	Φ150	Φ80	15	700	1100