搬运机器人 增加了Rack式移动轴，一台 Robot和多台设备组合使用 » 高强性自由伸缩式Z轴 Stroke : 850mm » 可以做到 SEMI 规格的 Cassette PASS Line 1,000 mm » 可以做到 Hand Alignment , 使搬运中的出错率降到最低 » 全部采用了绝对型伺服电机不需要原点复位 » 制造系统构成最佳化，交货期短 » Arm 的充分测试可以保证最佳洁净度可达到 Class 10