酸性废蚀刻液循环再生系统

2.1 工艺简介

【酸性蚀刻液循环再生系统】是采用离子膜电解工艺来再生蚀刻液及回收铜，该工艺是一种在线式的再生工艺，即将电解再生设备与蚀刻机串联，再生反应和蚀刻反应这对互为可逆的反应依次循环进行。

电解槽阳极区进行废蚀刻液氧化再生：以电催化涂层电极为阳极，以阳极与阳极液的电位差为反应驱动力，使阳极表面的一价亚铜络合离子氧化为二价铜络合离子，实现废蚀刻液的氧化再生。

电解槽阴极区回收铜板、再生Cl^- 和Cu²⁺ 浓度降低后的阴极液返回再生蚀刻液中降低铜离子浓度：在电化学势能推动下，在阴极板表面的一价亚铜络合离子还原为零价铜板和产生Cl^-，Cu²⁺ 浓度降低至30g/L左右的阴极液打回再生蚀刻液中，使比重下降至一定的范围，从而使酸性蚀刻废液的化学组成、氧化还原电位及比重等参数达到蚀刻线正常生产要求的控制范围。阴极板上析出具有商业价值的铜板，可直接销售。

2.2 技术优势

（1）利用阳极板特殊贵金属涂层催化形成电化学电势电位差将一价铜离子氧化成二价铜离子原理，再生后蚀刻液可循环使用，再生药水稳定性好，蚀刻因子合格，回用后可节省氧化剂70～90%，节省盐酸50～70%。

（2）回收铜为优质高纯度电解铜板，一套月处理量30吨的设备每天可产电解铜粉100公斤以上，铜回收率100%，经济效益显著。

（3）设备阳极框采用高效能离子交换膜，膜通量大，电阻小，电解效率高，成本低。

（4）设备工艺先进，性能稳定，操作维护简单，自动化程度高，安全方便，与蚀刻线相互连接后，自动循环运作，在安装调试过程中不影响生产，安装调试完毕即可投入使用。相对同类设备占地面积小，操作劳动强度低，运行成本低。

（5）系统运行过程中整个蚀刻液体系密闭，电解产生的少量酸性废气由废气管道排至废气塔，用5%碱液喷淋处理即可达到国家标准排放，车间无气味。极大减少了污染物的排放，实现清洁生产。

在电子线路版（PCB）蚀刻过程中，蚀刻液中的铜含量渐渐增加。蚀刻液要达到最佳的蚀刻效果，每公升蚀刻液需含120至180克铜及相应分量的蚀刻盐（NH4CI）及氨水（NH3）。要持续蚀刻液中上述各种成份的浓度最佳水平，蚀刻用过后的（以下称[用后蚀刻液]）溶液需不断由添加的药剂所取缔。

本系统将大量原本需要排放的用后蚀刻液再生还原成为可再次使用的再生蚀刻液。只需极少量的补充剂及氨水，补偿因运作时被带走而失去的部份。从而取代蚀刻子液，既可达到蚀刻工艺的要求，又可节省生产成本。

蚀刻液再生循环系统有酸性、碱性两大系统，两大系统又可分为萃取法、直接电解法。可将大量原本需要排放的用后蚀刻液还原再生成为可再次使用的再生蚀刻液。从而减少生产废液的排放，回用降低生产成本，且可提取出高纯度电解金属铜。