厂商：仪准科技（北京）有限公司

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主营产品：激光开封机红外热像仪 IV曲线测试 FIB聚焦离子束手动探针台 EMMI decap 3D X-Ray

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商品详情描述

光发射显微镜是器件分析过程中针对漏电失效模式，必不可少的分析工具。器件在设计、生产制造过程中有绝缘缺陷，或者期间经过外界静电击穿，均会造成器件漏电失效。漏电失效模式的器件在通电得状态下，内部形成流动电流，漏电位置的电子会发生迁移，形成电能向光能的转化，即电能以光能的方式释放，从而形成200nm~1700nm红外线。光发射显微镜主要利用红外线侦测器，通过红外显微镜探测到这些释放出来的红外线，从而精准的定位到器件的漏电点。我司推出的P-100光发射显微镜(EMMI),在同业中具有超高的性价比,并凭借良好的售后服务,迅速占领市场.目前大中国地区的知名失效分析客户有: 上海宜硕、深圳宜智发、上海闳康、上海矾诠、广州五所、北京电科院、东南大学、乐山菲尼克斯、深圳明微。。。。。。

Junction Leakage Oxide Leakage

ESD Damage Avalanche-20x Backside Image

Poly Filaments Backside Observation

System Composition	Items	Specification
camera	Cooling CCD Camera
	Cooling Silicon CCD	-65 ℃ ",Forced Air +4 stage Peltier Cooling
	Pixelsize	24umx24um
	Resoluiion	512 x512
	High QE	UV~NIR
	QE At 1000nm	>=20%
	Dual Read Out Mode	Fast Scan Mode 2.5MHZ /Pixel
	Dual Read Out Mode	Slow Scan Mode (High Sensitivity) 0.156MHz/Pixel
	Dark Current	<=0.17 electron/pixel/s
	Readout noise	7 electron(r.m.s)
	Dynamic range	32875:1
	A/D Converter	16 bit
	Readout/control Interface	IEEE 1394
	Exposure Time	20ms~7200s
	Contrast enhancement	Max 16 x
Microscope	High Presicion Motorized XYZStage
	Stage Resolution	0.1um
	Accuracy	±1um
	X Stroke (Moving Range)	>50mm
	Y Stroke(Moving Range	>30 mm
	Z Stroke	>100mm
	Motorized Lens Changer With Optics Axis Correction Screws For Each Lens Position	4 holes/RS232 Control Interface
	Light Box	Dual Light Source(Visible ,NIR)Auto Switch
	NIR Light Transmission	>70%
	NIR Lens	2.5x,5x,20x,100x
	Eyepieces	10x
	Control Console	X/Y/Z/Lens Change/Light Adjust
	Auto Lens Alighment	Accuracy<5um
	Pattern/Emission Optics Switch
InGaAs camera	冷却方式	cooling down to -70摄氏度
	侦测波长范围	900～1700nm
	解析度	320256（软件能力640512）
	QE Range	QE@1300nm>70%
	Pixel Size	30um*30um
	High Gain	>300sec

	Dark Box With Anti-Vinration Table	Inteligent Temperature Control Light Shiled Dark Box
	Dark Box With Anti-Vinration Table	High Stable Anti-Vibration Table

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激光开封机

红外热像仪

IV曲线测试

FIB聚焦离子束

手动探针台

EMMI

decap

3D X-Ray

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