EDI设备由阴阳电极板，离子交换树脂，离子交换膜等功能组件构成。水中的离子被离子交换树脂捕获，水获得脱盐纯化，在电场作用下，被捕获的阳离子透过阳膜，阴离子透过阴膜。离子透过离子交换膜进入浓水室储存。在恒定电流下，水分子被电离成H+.OH-离子，从而在产水过程中对离子交换树脂循环再生。超纯水处理：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值（25℃）。超纯水处理，是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm（25℃）。