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工业用高纯水设备 (超纯水)
高纯水:既将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于10~18.3MΩ*cm极限值。超纯水,是一般纯水设备很难达到的程度,通常采用预处理、反渗透技术、高纯化处理以及后级处理四大步骤,多级过滤、高性能离子交换(抛光)、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法,电阻率方可达18.25MΩ*cm。
制备工业用高纯水的工艺流程
电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种:
三种制备工业用高纯水的工艺比较:
目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种,其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面:
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