厂商 ：宝鸡大洋金属
地址 ：陕西 宝鸡主营产品 ：钛棒 钛丝 钛管 钛板 钛法兰 钛标准件
联系电话 ：18829872610
商品详情描述
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品 名
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纯度
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密度
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镀膜优势色
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形状
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常规尺寸
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应用行业
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钛铝（TiAl）合金靶
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2N8-4N
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3.6-4.2
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玫瑰金/咖啡色
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圆柱形
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直 径
60/65/95/100*30/32/40/45mm
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装饰/工具
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纯钛（Ti）靶）
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2N8-4N
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4.51
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金黄色/qiang黑色
蓝色/玫瑰红
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圆柱形
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靶材的主要性能要求:
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的yang气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
售后服务：
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