超净间系运用HEPA、ULPA过滤空气，其尘土的收集率达99.97~99.99995%之多，因此通过此过滤器过滤的空气可说非常洁净。但是超净间内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发作的尘土一旦松散，即无法坚持洁净空间，因此有必要运用气流将发作的尘土活络排出室外。

　　超净间内的气流是分配超净间功用的首要要素，通常超净间的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属和风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于失调、虽行进风速可抑制此一打乱之影响而坚持洁净度、但因风速的行进，将影响作业本钱的添加，所以应在满意央求的洁净度水准之时，能以最恰当的风速供给，以抵达恰当的风速供给以抵达经济性作用。

　　另一方面欲抵达超净间洁净度之安稳作用，均一气流之坚持亦为一首要要素，均一气流若无法坚持，标明风速有异，格外是在壁面，气流会延着壁面发作涡流作用，此时要结束高洁净度事实上很艰难。

　　笔直层流式方向要坚持均一气流有必要：(a)吹出面的风速不可有速度上的区别;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的区别。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之景象发作，而0.5m/s之速度，气流则较均一，如今通常超净间，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

　　影响超净间的气流要素很多，如制程设备、人员、超净间拼装材、照明用具等，一起关于出产设备上方气流的分流点，亦应列入思考要素。

　　通常操作台或出产设备等外表的气流分流点，应设于超净间空间与隔墙板间隔2/3的本地，如此可使作业人员作业时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走;若分流点装备在制程区前方，将变成不妥的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区今后，作业员操作所致使的尘土将被带到设备后边，作业台因此将遭到污染，良率也必定降低。

　　超净间内的作业桌等障碍物，在相接处均会有涡流景象发作，相对地在其邻近之洁净度将会较差，在作业桌面钻上回风孔，将使涡流景象减少最低;拼装资料之挑选是不是恰当、设备方案是不是完善，亦为气流是不是变成涡流景象之首要要素。