激光调阻机 简 介 激光调阻机广泛应用于厚膜混合集成电路、电子元器件、汽车电器、传感器、军工科研、片式电阻等行业。它是利用激光技术对厚膜电阻或薄膜电阻切割实现对电阻的精密调节，激光调阻原理就是利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上，通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻，通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行，同时实时测量电路实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化，厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值，当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭，即实现激光调阻过程。 型 号 LT-12 基本规格 外形 1500mm（长）*1700mm（宽）*1500mm(高) 重量 约1900KG 电力需求 220VAC±10V/50Hz/2.2KW 真空压力 0.6MPa 激光系统 类型 光纤/固体激光 激光波长 1064nm(IR 红外)/532nm(Green 绿光)/355nm(UV 紫外) 激光功率 20W/5W/2W or higher 长时间稳定性(rms) <2% 脉冲重复频率 1~50KHz 脉冲宽度 5~30ns 调制器 声光调制器 冷却方式 水冷/风冷 典型光斑尺寸 35um, 10um or smaller 对焦方式 自动，计算机程序控制 激光束定位系统 激光束定位方式 Scanner 激光束运动范围 >60mm*60mm 运动分辨率 0.75um or better 重复定位精度 ±2.5um or better 最大速度 <2000mm/s 运动最大加速度 <2G 定位方式 可编程定位或图像识别自动定位 样品平台定位系统 X-Y轴行程 380mm, 速度600mm/s, 分辨率1um XY全行程机械定位精度 ±2um（环境温度在±1°以内波动时） θ轴角度重复精度 0.0002° Theta 轴 ±5°/0.0001° 测量系统 电阻测量方式 开尔文探针电阻测量法 修阻精度 ~0.07% 修阻范围 1mΩ~10MΩ 测量速度 25us/次 探针卡 按用户要求定制 探针定义 可编程任意设定 探针卡运动 自动，计算机程序控制 控制系统 工控机IPC控制,WINDOWS操作系统 特点： 精度高、速度快、可靠性强； 适用厚、薄膜电路调阻，电子模块功能调整； 能够满足更小器件的生产需要； 自动化多功能测试平台； 高精度图像识别功能； 使用同一设计平台，兼容不同激光器及测量系统；