一体化研磨清洗废水处理设备：研磨废水处理工艺： 1、 含氟废水处理系统：包含高氟废水预处理系统和低氟废水处理系统。项目蚀刻槽定期倒槽产生的高浓度氟废水等物质，主要污染物为pH、COD、BOD5、F-、Cl-、SS等。预处理后的高浓度含氟废水与低浓度含氟废水一同排入低氟废水处理系统处理。低浓度含氟废水主要源自蚀刻减薄线的清洗工序， 含氟废水处理系统工艺流程： 高浓度含氟废水收集池→高氟废水自吸泵→高氟废水混凝槽→高氟废水沉淀池→低浓度含氟废水收集池→低氟废水自吸泵→低氟废水混凝槽→低氟废水沉淀池→中和反应池→排放 2、一般废水终中和处理系统。清洗废水主要来源于前清洗、抛光后清洗工序，废水中含有清洗剂，主要污染物为pH、COD、BOD5、SS、LAS等；反洗水就是纯水系统反洗介质过滤器和活性炭过滤器排水，主要含原自来水中的离子（盐类）和SS；冷却塔循环水排水主要成份为自来水中浓缩的盐类、SS。项目清洗工序产生的一般清洗废水，纯水制备工序产生的反冲洗废水和冷却塔排水，水质均较清洁，均直接排入终中和系统处理。 采用中和法根据废水水质情况自动投入酸或碱液，在强力搅拌下进行混合、反应，废水经处理达到排放标准后排放。如果水质达不到排放标准，再返回各处理系统进行二次处理。 一般废水终中和处理系统工艺流程： PH调节加药┐ 中和处理系统废水收集及反应池→排放池 3、悬浮物废水处理系统。本废水主要来源于抛光工序，废水中含有少量抛光粉（主要成分为氧化铈），主要污染物为SS。本设计采用新型TMF管式微滤固液分离膜系统进行悬浮物废水处理。该固液分离工艺成熟稳定（已有多年成功运行工程案例）、具有针对性强、效果显著，运行成本低，自动控制先进、稳定、可靠，操作及检修方便等特点。选用美国POREX公司的废水专用管式微滤膜，PVDF膜材质，抗氧化、耐强酸碱、清洗方便。POREX微滤膜采用特殊工艺制造，表面平整光滑、微孔率高，可在100磅的冲击压力下正常运行，不会出现滤膜破裂、颗粒穿透现象，使用寿命可达5年以上。