PURA高纯气体露点仪

PURA高纯气体露点仪厂家

厂商 :上海熠恒能源设备有限公司

地址 :上海市 上海市
主营产品 :销售进口空压机 德国CS仪器仪表 干燥机 过滤器 电子液位排水器 废油水分离器 流量计 露点仪
联系电话 :15821163723
商品详情描述

MICHELL PURA高纯气体露点仪

亮点
应用
? 测量范围低可达-120°Cdp (1ppbV)
?
高纯气
? 稳定而可重复的测量
?
半导体制造
? 模拟和数字输出
?
光纤生产
?
安装简单
?
电子元件制造
?
VCR 过程连接
?
光学镀膜工艺
? 可选的显示/报警单元
? 工业气体的生产和分销
?
设计紧凑
?
快速响应
高纯气体微量露点变送器
在许多高纯气体的应用中,如半导体行业,气体的残留水分
对于工艺操作的影响是至关重要。
根据以往的经验,微量水分测量一直是一个难题,这需要
使用复杂或昂贵的分析仪测量。现在,密析尔推出了一款
简单、经济的产品,可以在线测量露点达-120°C (小于
1ppb)。
Pura 露点变送器的优势在于密析尔阻抗传感器生产和校准
的经验和专长。工业标准材料和制造工艺结合的低成本变送
器,适用于大规模集成半导体制造厂或高纯气体管线中。
使用简单
这种独立的变送器设计成可无缝接入纯气的过程应用
中,并可提供可靠的测量结果。
Pura 的传感器外壳是由冷拉不锈钢制成,内部采用 0.25Ra
μm 电抛光技术 ,以达到小的吸湿性,洁净度达到清洁室
标准。
该变送器交付完整的校准和操作,并提供 4-20mA 的校准输
出,能够连接到密析尔的显示模块或中央控制系统。
该产品的设计具有小的内部结构。这确保了过程应用中快
的响应速度,也保证了湿度测量时的快响应速度。传感器密
封垫圈可以在小压力 10-9torr 内工作,同


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