南光ZZS1100真空电镀膜机

一，机械明细介绍

型号：ZZS1100

真空室尺寸：Φ1100×1300

极限真空镀：≤3.0×10^-4Pa

恢复真空时间：4.0×10^-3Pa≤15min

抽气第统：扩散泵：TK-500×2  罗茨泵：ZJP-300  机械泵：2X-70

真空室系统：配三路数字复合真空计，两路低真空，一路高真空

工件夹具：Φ1040

工件控烤系统：上烘烤，铠装管状加热器加热，温度350℃，PID自动控温及显示

电阻蒸发源：电阻蒸发源功率4KW（8V、600A）

电子束蒸发源：E型电子束蒸发源，功率6～10KW

膜厚监控系统：光学膜厚监控，波长范围380-800nm，9^ｏ透反射光路，六位电动比较片带显示；石英晶体膜厚监控，美国SQC-310、IC/6

充气系统：自动压强仪2～510^-2Pa

外形尺寸：3870×3600×2670

重量：3000

二，机械用途

用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜

三，机械优点

采用箱式结构，真空系统后置，便于操作和维修；整机表面平整，方便清洁，特别适合放置在净化间内做穿墙式安装。

技术销售：&13723521401

公司还出售租凭进口各品牌蒸发离子/磁控溅射真空电镀膜明细如下：