滚筒式等离子清洗机， 等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性 637939248054723982550.jpg 滚筒式等离子清洗机KT-S2DQX-C 供电电源 AC220V（AC110V可选) 工作电流 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) 射频电源功率 150W 射频频率 13.56MHz 频率偏移量 ＜0.2MHz 特性阻抗 50欧姆，手动匹配 耦合方式 电容耦合 真空度 ≤50Pa 腔体材质 高纯石英 腔体容积 Φ100mmX200mm 旋转速度 20转/分钟 气体流量 0—300ml/min 过程控制 触摸屏自动控制+手动调节流量 清洗时间 手0-999秒 外形尺寸 615X390X560mm 重量 56Kg 真空室温度 小于65°C 真空计量程 1E5Pa至1E-1Pa(皮拉尼真空计) 标配 KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。