日本HORIBA 液体质量流量计STEC LF-F20M/F30M/F40M-A-EVD1 深圳市天铉真空技术有限公司 提供微升至超低流量控制 实现低沸点和高粘度液体材料的流量控制 超洁净设计 测量技术 冷却测量方法 该系列液体质量流量控制器中的流量传感器由与毛细管接触的电子冷却元件（珀尔帖元件）以及几个温度检测元件组成。当液体流动时，传感器检测对应流量的温升（ΔT），并以流量显示。与热交换不同，这种冷却方法能够测量低沸点液体的流量。此外，该方法还能防止由于二次排放（汽化）的影响而产生的干扰问题，使的流量测量成为可能。 结构/工作原理 LV-F 和 LF-F 系列质量流量计采用相同的测量原理。LV-F 系列还配备一个压电阀和一个内部比较控制回路。对流量设定信号和流量输出信号进行比较，并自动控制阀门孔径，使两个信号匹配以控制液体。由于采用了反馈控制系统，不会因外部因素而导致流量变化，因此确保了稳定和的控制。