厂商：智庭科技（武汉）有限公司

地址：湖北武汉市

主营产品：影像测量仪测量投影仪显微镜 3Ｄ扫描仪三坐标快捷影像仪非标测量设备在线检测设备

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商品详情描述

1. 仪器主机说明

TMM-2107是我司针对半导体行业推出的一款高性能的手动测量金相显微镜，结合公司多年影像测量和扫描的生产经验，以及自主研发的三维测量扫描软件，将设备的高性能的特点发挥到**。

l 选用高清品牌相机，措载soptop高端金相系统，整体成像清晰无闪烁，视场开阔。

l 物镜可切换多种倍率：5x,10x,20×,50x(选配)100×(选配),**综合倍率**可达

2000倍以上。

l 标配反射和透射LED可程控光源或非程控卤素光源。

l 利用可变孔径光阑，可进行无衍射观察测量。

l 单视野范围内测量精度±1μm,重复精度±0.5μm加装光谱共焦位移传感器可测高度、

深度、平面度，测量精度±1μm。

l 可根据客户需求，订制各种尺寸工作台，目前*大行程可做3000*2000mm,*小行程可做

50*50mm工作台。

l 有精调/微调两种模式，便于**聚焦和观察测量，快速定位焦面。

l 可根据客户要求加配超长工作距离APO物镜，激光测头各种规格摄像机以及更高精度光

栅等(光尺**选配0.01μm)。

l 自主研发金相测量软件，页面简洁大气，操作方便易上手，可适高精度要求的复杂工件

测量。

2.技术参数

扫描范围	XYZ三轴移动范围（mm）	20010070
	外形尺寸（mm）	520530740
	玻璃台面尺寸（mm）	245*145
	台面承重（kg）	25
	仪器净重（kg）	100
光学影像及测量系统	光学系统	无限远平场消色差金相显微光学模组（3目）
	金相显微物镜倍率	5X	10X	20X
	视频总放大倍率	241.5X	483X	966X
	双目目镜倍率	标配10X目镜（视场数Φ22mm），也可选配20X目镜
	物方工作距离(mm)	26.1	20.2	8.8
	物方视场(mm)	1.47*0.98	0.735*0.49	0.368*0.245
	照明光源	上光：LED同轴落射冷光源（程控调光）底光：LED平行冷光源（程控调光）辅光: LED光源（程控调光）
	摄像机	HIKVISION 500万像素高清彩色数字相机
	示值误差（μm）	单视野	±1
		XY行程范围	2.5+L/200
	重复精度（μm）	单视野	±0.5
		XY行程范围	2.5
	XYZ光栅分辨力（μm）	1
	扫描测量软件	ZT Vision-M
	其他选配件	光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、自动变倍金相显微模组等
电脑		联想E95/G3930/4G/1T/集成
工作电源		AC200-240V 50/60Hz 450W（注：需有电阻≤4Ω接地线）
工作环境		温度20±2℃, 相对湿30%-80%,振动＜0.002g，低于15Hz，远离振源

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