靶材的主要性能要求: 纯度 纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6", 8"发展到12", 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。 杂质含量 靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。 密度 为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。 晶粒尺寸及晶粒尺寸分布 通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。 宝鸡正谦有色金属有限公司，位于国内有色金属加工基地——陕西，宝鸡。公司是以难熔金属，有色金属材料加工生产研发销售为一体的综合性企业。 公司采用现代化的生产设备专业生产各种规格的钨、钼、钽、钛、镍及相关合金材料板材，棒材，管材，箔材，丝材，靶材，坩埚等深加工件；产品广泛应用于航空，石油化工，冶金，稀土，镀膜，仪器仪表 ，LED，电子器材，太阳能光伏，医疗器械等领域。 公司始终坚持“诚信为本”的服务理念，竭诚为顾客提供更好的产品和服务，双赢合作，共谋发展。 联系方式： 宝鸡正谦有色金属有限公司 电话: 0917-3248983 传真: 0917-3248983 销售部：李女士 15336168691(微信同号） 电 话：0917-3248983 传 真：0917-3248983 公司网址：www.bjzqmetals.com