一、经典结构 ①经典的移动桥式设计，结构简单、紧凑、敞开性好、运动速度快，提供率、高精度的测量。 二、高稳定性 ①高刚性高性能气浮导向，无摩擦无磨损，三轴均采用四面环抱式设计，有效确保稳定性。 ②三轴采用高分辨率光栅尺，保证了良好的精度。 三、驱动方式 ①三轴采用伺服电机驱动，并且电机安装在各轴的远端，有效的规避了电机工作产生的热量对测量机局部温度 的影响。