Ti-AI合金系列靶材通常是被用于功能性膜层,在沉积过程中与氮气反应生成TiAIN涂层，具有很好的韧性和抗氧化性，使钻头、刀具、可转位刀片以及其它工模具的切削速度、切削性能大幅提高。当作为装饰性膜层在沉积过程中与不同气体反应，可呈现黑色、咖啡色等一系列颜色。