3D显微观察测试通过使用特定的显微镜系统，可以观察到样品表面的微观结构，并进行高精度的三维形貌测量。

这些系统通常配备有高分辨率的摄像头和定位控制，能够生成样品表面的3D图像。

功能特点：

• 高精度3D图像：通过高精度3D显微镜图像生成技术，如Accurate D.F.D.（Depth from Defocus），可以观察到细微的凹凸结构9。
• 实时3D测量：3D显微镜可以实时进行体积、距离、平面角和轮廓度的测量，这些通常是传统光学显微镜无法完成的9。
• 自动测量工具：部分系统配备有自动面积测量工具，可以大幅提升作业效率4。
• 高倍率观察：支持高达数千倍的高倍率观察，适用于观察细微的IC图形和测量次微米级的3D形状

常见的测试案例及功能展示：

1.平面拍摄。样品需要观察切片过后的平面直观图

2.平面测量功能

3.景深叠加。能清楚的拍摄出样品的整体形貌

4.3D拼接拍摄。样品过大，单个视野无法拍全，可进行3D拼接看样品全貌，通过颜色能清楚地看到样品的高低起伏状况。

5.SEM模式。有些样品需要在SEM模式下才能够观察到对应的位置以及观察未知的特征形貌，因此SEM模式会使测试变得更便捷