c a ssette-石英舟倒片器 适用于3英寸(75mm)4英寸 (100mm)5英寸(125毫米)6英寸 (150mm)8英寸(200mm)晶圆 电脑控制的批量晶圆转移 符合高 价值的晶圆处理要求 低维护成本,精度高 缓慢提起晶圆 无磨损 触摸屏显示器 可编程位置和速度