微型探针台高低温一体式不锈钢腔体，手动调节探针，正面留有观察窗，反面留有透光孔。高低温配置 KT-Z4019MRL4T是一款便携式探针台，结构小巧，功能使用，成本较低，可以满足基本实验的要求。特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构，使得探针部分能从整个探针台系统中独立出来，可以应用于辐照实验中，该探针台也可放置高低温箱中，用于芯片的三温测试。多探针结构可实现多路测试。配合接地良好的铝制盒，增加了抗干,扰,能力，其测试数据更加准确 微型探针台高低温KT-Z4019MRL4T 真空腔体 类型 高温型室温到350℃ 高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃ 腔体材质 304不锈钢 6061铝合金 可选 腔体内尺寸 127mmX57mmX20mm 腔体外尺寸 150mmX80mmX32mm 腔体重量 不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG 腔体上视窗尺寸 Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） 腔体抽气口 KF16法兰（其余接口规格可转接） 腔体真空测量口 KF16法兰（其余接口规格可转接） 腔体进气口 6mm快拧 或 6mm快插 腔体冷却方式 腔体水冷+上盖气冷 腔体水冷接口 腔体正压 ≤0.05MPa 腔体真空度 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） 样品台 样品台材质 不锈钢 银铜合金 纯银块 银铜合金 纯银块 样品台尺寸 26x26mm 样品台加热方式 电阻加热 电阻加热 液氮制冷 样品台-视窗 距离 11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm） 样品台测温传感器 PT100型热电阻 样品台温度 室温到400℃ 室温到400℃ 室温到-196℃ 样品台测温误差 ±0.5℃ 样品台升温速率 高温100℃/min 低温7℃/min 温控仪 温度显示 7寸人机界面 温控类型 标准PID温控 +自整定 温度分辨率 0.1℃ 温控精度 ±0.5℃ 温度信号输入类型 PT100 （可选K S B型热电偶） 温控输出 直流线性电源加热 直流线性电源加热+液氮流速控制器 辅助功能 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 温控器尺寸 32cmX170cmX380cm 温控器重量 约5.6KG 探针 电信号接头 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 电学性能 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA 探针数量 4探针（可扩展5探针） 探针材质 镀金钨针 （其他材质可选） 探针尖 10μm 手动探针移动平台 X轴移动行程 20mm ±10mm（需手动推动滑台） X轴控制精度 ≥500μm R轴移动行程 120° ±60°（需手动旋转探针杆） R轴控制精度 ≥500μm Z轴移动行程 2mm ±1mm Z轴控制精度 ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）