厂商 ：中山宝辰机电设备有限公司
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商品详情描述
单极脉冲磁控溅射电源适用于金属、合金及石墨等靶材镀制纯金属膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。其优点是能明显改善靶面电荷积累现象，减少溅射靶表面的打火次数，提高膜层质量。输出波形为单极脉冲。电源具有平均电流稳流功能。
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品名 |
脉冲磁控电源 | |
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型号 |
BP系列 | |
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输入 |
相数 |
三相+N |
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电压 |
380V | |
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频率 |
50Hz | |
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输入方式 |
4线（含零线） | |
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输出 |
波形 |
脉冲 |
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功率 |
10KW~100KW（可定制） | |
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电压 |
0—1200V（可定制） | |
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稳定度 |
≤1% | |
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电流 |
0— | |
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稳定度 |
≤1% | |
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纹波及杂讯 |
≤2% | |
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效率 |
≥90% | |
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控制 |
控制方式 |
标准方式：恒压/高低压切换 |
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可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换 | ||
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控制接口 |
标准方式：面板手动 | |
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可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus) | ||
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保护 |
具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 | |
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冷却 |
风冷或水冷 | |
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外型 |
防护等级 |
IP21 |
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单元尺寸 (W*D*H) |
箱体：440(W)X260(H)X580(D) （20KW风冷） 面板：482(W)X280(H) | |
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重量 |
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备注 |
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