厂商 ：上海索宜电子科技有限公司
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商品详情描述
SOYI系列真空镀膜电源简介
本公司生产的真空镀膜电源（真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源）
有以下特点：1、恒压，恒功率
2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力。
3、工艺重复性好。
4、提高成膜速度， 实现高质量的溅射膜层。
SOYI系列真空镀膜电源技术参数
本公司生产的真空镀膜电源（真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源）
有以下特点：1、恒压，恒功率
2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力。
3、工艺重复性好。
4、提高成膜速度， 实现高质量的溅射膜层。
SOYI系列真空镀膜电源技术参数
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品名 |
真空镀膜电源 |
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型号 |
SOYI系列 |
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输入 |
相数 |
单相或三相 |
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电压 |
220/380V |
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频率 |
50Hz |
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输入方式 |
4线（含地线） |
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输出 |
波形 |
直线 |
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功率 |
30KW /60KW /100KW（可定制） |
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电压 |
0—1200V（可定制） |
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稳定度 |
≤1% |
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电流 |
0—200A（可定制） |
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稳定度 |
≤1% |
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纹波及杂讯 |
≤5%或≤3% |
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效率 |
≥90% |
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控制 |
功率 |
可选择 |
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电压 |
恒压控制，可本地控制也可通过0-10V或4-20mA |
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电流 |
可选择 |
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保护 |
具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 |
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冷却 |
风冷 |
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外型 |
外壳 |
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尺寸(W*D*H) |
482.6mm*600mm*266.7mm（30KW） |
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重量 |
30KG（30KW） |
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备注 |
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