去离子水（deionized water）是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定  去离子水
去离子水图片展(3张)义为：“去离子水完全或不完全地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。 　　在半导体行业中，去离子水被称为“超纯水”或是“18兆欧水”。
去离子水的处理步骤
　　从自来水到去离子水一般要经过几步处理 ： 　　
1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质 　　
2、然后高压通过反渗透膜 　　
3、最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物 　　
4、假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程最高电阻率可达到18兆。 　　
相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水
去离子水的特点
　　去离子水制取工艺及其特点 　　
1、离子交换树脂制取去离子水的传统水处理方式，其基本工艺流程为： 　　原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床→后置保安过滤器→用水点。 　　（特点：污染比较大，自动化程度低，初期投入低） 　　
2、反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制取去离子水的方式，其基本工艺流程为： 　　原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→混床→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。 　　（特点：污染小，自动化程度高，初期投入中等，价格适中） 　　
3、反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制取去离子水的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为： 　　原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。