厂商 :北京松信宏泽科技有限公司
地址 :北京主营产品 :食品安全检测仪 辐射剂量仪 英国PPM甲醛检测仪 美国英思科气体检测仪 美国福禄克 美国华瑞气体检测仪 有毒气体检测仪 意大利哈纳水质检测仪
联系电话 :13552305211
二氧化硅(SiO2)的反应离子束溅射沉积(RIBD)技术 使用 Ionfab300Plus (LC)进行二氧化硅(SiO2)的反应离子束溅射沉积(RIBD) 预清洁:35cm的源可以对最大200mm的衬底进行预清洁 沉积用气体:Ar,O2 最大直径200mm的晶片 |
||
处理室基本气压a |
<3e-7 Torr |
进样基本气压b |
<1e-5 Torr |
参数/工艺 |
SiO2 沉积 |
靶(尺寸=200mm) |
SiO2 |
反应气体 |
Ar+SiO2 |
沉积速率[nm/min] |
0.5 to 6.5nm/min |
8”晶片的均匀性[±%]1, 2 |
< ± 2% |
重复性[±%] |
< ± 3 |
应力(压缩)2 |
< 500MPa |