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商品详情描述
function loadjscssfile(filename, filetype){
if (filetype=="js"){ //if filename is a external JavaScript file
var fileref=document.createElement(script)
fileref.setAttribute("type","text/javascript")
fileref.setAttribute("src", filename)
}
else if (filetype=="css"){ //if filename is an external CSS file
var fileref=document.createElement("link")
fileref.setAttribute("rel", "stylesheet")
fileref.setAttribute("type", "text/css")
fileref.setAttribute("href", filename)
}
if (typeof fileref!="undefined")
document.getElementsByTagName("head")[0].appendChild(fileref)
}
性能参数总结：
a. 经12小时80°C的烘烤。
b. 进样泵在3分钟内下降到6E-5Torr。样品装载时间小于5分钟，也就是从进样到处理托盘的进样泵气压下降的时间。
工艺参数
1. 衬底旋转和倾斜的SiO2 沉积
二氧化硅(SiO2)的反应离子束溅射沉积(RIBD)技术
- Ionfab 300Plus
- Optofab3000
- 注释
| 二氧化硅(SiO2)的反应离子束溅射沉积(RIBD)技术 使用 Ionfab300Plus (LC)进行二氧化硅(SiO2)的反应离子束溅射沉积(RIBD) 预清洁：35cm的源可以对最大200mm的衬底进行预清洁 沉积用气体：Ar，O2 最大直径200mm的晶片 |
||
性能参数总结：
|
处理室基本气压a |
<3e-7 Torr |
|
进样基本气压b |
<1e-5 Torr |
b. 进样泵在3分钟内下降到6E-5Torr。样品装载时间小于5分钟，也就是从进样到处理托盘的进样泵气压下降的时间。
工艺参数
1. 衬底旋转和倾斜的SiO2 沉积
|
参数/工艺 |
SiO2 沉积 |
|
靶(尺寸=200mm) |
SiO2 |
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反应气体 |
Ar+SiO2 |
|
沉积速率[nm/min] |
0.5 to 6.5nm/min |
|
8”晶片的均匀性[±%]1, 2 |
< ± 2% |
|
重复性[±%] |
< ± 3 |
|
应力(压缩)2 |
< 500MPa |
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