搭载了高性能X射线管，实现了高精度的测定。极微小准直管和可变焦距光学系统的组合，实现了对极微小部分的测定。对有段差的样品也适用。


搭载了75W高性能X射线管。　
搭载标准的Φ50μm微小准直管（最小Φ15μm）。
容易对微小领域进行观察。搭载了能4阶段切换的可变焦距光学系统。
依据照明能很容易对以前观察困难的样品进行观察。　
搭载了防止有凹凸的样品碰撞的传感器。　
搭载了焦点切换功能，能够对有高度的样品的低部分进行测定。
利用伺服马达精确的驱动平台。　　
运用激光聚焦功能简单实现位置的调整。

型号	SFT9300系列
射线源	空冷式小型X射线管
准直器	□型 0.025 x 0.2mm, 0.2 x 0.025mm ○型 0.05mm, 0.1mm, 0.2mmφ
样品表示倍率（CRT上）	最大4倍可变焦距
样品平台	移动量：220（X）x 150（Y）x 150(Z)mm
焦距切换功能	3段切换：10mm, 40mm, 70mm
主要的应用	多层镀膜：最大5层（各层最大10元素） 合金镀膜：最大10元素