瑞泽气体氩气纯化装置专供

瑞泽气体氩气纯化装置专供厂家

厂商 :苏州瑞泽气体净化设备有限公司

地址 :江苏 苏州
主营产品 :配气柜装置 配比柜 氮气纯化净化机 氮气净化纯化设备 氩气净化机 氩气净化器 氧气净化机净化器 氢气纯化装置 氢气净化器
联系电话 :15190055548
商品详情描述
一、 关于氩气纯化的方法
第一种
直接脱氧法。就是使用活性金属与氩气中的氧气进行反应,消化掉氩气中的氧气,从而达到脱氧的目的,经过分子筛吸收掉氩气中的水份,使氩气的含水量小于1ppm
    
第二种
    是采用吸气剂。在一定温度下,吸气剂可吸收氮、氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体经吸收处理后,氩气的纯度可达到6个九,这种保护气体更适用于制作高纯度的半导体的单晶硅。
利用吸气剂纯化后氩气的纯度:
                           O20.2ppm
                           H20.5ppm
                           N21ppm
                           CO+CO20.5ppm
                           CH40.5ppm
                           水份≤1ppm
第一种方法设备投资小,设备中脱氧剂的使用寿命一般大于两年。
第二种方法设备纯化纯度高但投资相对较大,吸气剂使用寿命为一年。

★ :本公司也可根据客户要求,直接做高压的,这样就可省掉使用模压机增压工序。
     还可根据客户要求,配备分析仪在线时时检测设备中气体纯度。
氩气用途
    高纯氩气主要用途:用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气
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